MEMS柔性模块化触觉传感器，可与微电子和宏电子进行多功能集成

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研究背景 柔性触觉传感器是现代技术中重要的研究领域，它们能够模拟人类皮肤的物理特性和感知能力，广泛应用于人机界面、机器人操作和生物医学等多个领域。由于其独特的柔性形态，这些传感器在与基于晶圆的器件、商业芯片或电路板的集成中面临着诸多挑战。例如，传统的制造工艺和材料不能有效地与柔性触觉传感器兼容，导致其在特征尺寸、空间分辨率以及与其他电子组件的集成方面存在限制。此外，柔性触觉传感器在大面积应用中通常设计固定，难以满足不同应用的需求。 研究内容 针对这些问题，北京大学未来技术学院生物医学工程系助理教授韩梦迪研究员提出了一种新型的柔性模块化触觉传感器，采用微电机系统（MEMS）技术进行制造。这种传感器利用光刻定义的金属或合金细线作为感测元件，通过三维空间布置，实现了对温度、 ………………………………