干货分享：范德堡电阻率和霍尔电压测试

主要观点总结

本文介绍了使用4200A-SCS参数分析仪进行半导体材料范德堡电阻率和霍尔电压测量的方法和注意事项。

关键观点总结

关键观点1: 半导体材料电阻率和霍尔电压测量的重要性

半导体材料的电阻率和霍尔电压是表征其电学性能的重要参数，对于材料的研究和开发具有重要意义。

关键观点2: 4200A-SCS参数分析仪的特点

4200A-SCS参数分析仪具有四个源测量单元（SMU）和四个前置放大器，可自动进行范德堡和霍尔电压测量，简化了测量过程。

关键观点3: 范德堡电阻率测量方法

范德堡电阻率测量是一种四线法，用于测量具有四个端子的均匀厚度的小而扁平的样品上的电阻率。

关键观点4: 霍尔电压测量方法

霍尔电压测量是半导体材料表征的重要方法，可以推导电导率类型、载流子密度和迁移率。

关键观点5: 误差来源和注意事项

在进行电阻率测量时，需要考虑潜在的误差来源，如静电干扰、泄漏电流、光和温度等因素。

文章预览

点击上方 “泰克科技” 关注我们！ 简介 半导体材料研究和器件测试通常涉及测量样品的电阻率和霍尔电压。半导体材料的电阻率主要取决于体掺杂。在器件中，电阻率可以影响电容、串联电阻和阈值电压。霍尔电压测量用于推导半导体的类型 (n或p)、自由载流子密度和迁移率。 测定半导体材料的范德堡电阻率和霍尔电压的电学测量通常需要一个电流源和一个电压表。为了使测量自动化，通常使用可编程开关将电流源和电压表切换到样品的各个侧面。4200A-SCS参数分析仪具有四个源测量单元 (SMU) 和四个前置放大器 (用于高电阻测量)，是一个理想的解决方案；因为它可以自动进行这些测量，而无需可编程开关。用户可以使用4个中功率SMU (4200-SMU、4201-SMU) 或大功率SMU(4210-SMU、4211-SMU)。对于高电阻材料，则需要4200-PA前置放大器。4200A-SCS包括内置测试，可 ………………………………