MEMS：万物智联技术关键

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MEMS技术在汽车电子、生物医疗、智慧家庭、工业物联网、消费电子等领域都有着广阔的市场前景。随着万物互联时代的加快到来，MEMS传感器将迎来新的浪潮。 一、MEMS 是什么 1、MEMS 定义 MEMS（Microelectromechanical Systems，微机电系统）指特征尺寸在微米量级的机电系统，包含微传感器、微执行器、微结构和微电子，具有尺寸小、功耗低、集成度高、批量化生产能力高等优点，广泛应用于汽车、消费电子、医疗、航空航天等领域。 图 1：MEMS 的细分 图 2 典型的MEMS 系统示意图 传感器是用于感知外界信息的器件。外界信息包括物理信息、化学信息、生物信息等。物理信息涉及力、声、光、电、磁、温度、湿度等，化学信息涉及酸碱性、可燃性、毒性等，生物信息涉及酶、抗 ………………………………