标准简讯丨《高纯氟化铵溶液》（GB/T 30901—2014）标准修订工作进展

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标准简讯 PCEC 0 1 计划任务来源 根据 “国标委发〔2023〕58号《关于下达 2023 年第三批推荐性国家标准计划及相关标准外文版计划的通知》 ” 的要求，2024年完成GB/T 30901—2014 《高纯氟化铵溶液》国家标准的修订工作，计划编号为： 20231332-T-606 。该标准由全国化学标准化技术委员会无机化工分技术委员归口，标委会组织国内主要生产单位参与了标准的修订工作。 02 修标目的和意义 高纯氟化铵溶液是微电子技术加工制作过程中不可缺少的关键性化学品之一，主要用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路 （IC ） 和超大规模集成电路 （VLSI） 芯片的清洗和腐蚀，是上述各行业制作过程中的关键性基础化工材料之一。它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有十分重要的影响。它基于微电子技术发展而发展，同时又制约微电子技 ………………………………