基于腔光力系统的新型高精度微陀螺仪

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微陀螺仪是一种基于科里奥利原理或萨格拉克效应以测量角速度幅度及频率变化的微惯性传感器件，其在航空航天、无人设备、制导弹药等领域具有异常广泛的应用需求。然而，基于微机电系统（MEMS）的传统微陀螺仪因噪声较大，难以进一步获得性能上的较大突破。 据麦姆斯咨询报道，为了解决该问题，电子科技大学黄勇军副教授团队提出一种基于腔光力检测架构的新型微光机电系统（MOEMS）高精度微陀螺仪结构，该陀螺仪具有噪声低、灵敏度高、抗电磁干扰能力强等特性，能在低功耗下实现超高精度角速度测量，可广泛应用于未来高精度惯性测量、惯性导航、微振动检测等技术领域。相关研究成果以“基于腔光力系统的新型高精度微陀螺仪”为题发表在《中国科学：物理学 力学 天文学》期刊上。 这项研究提出的基于硅基光子晶体腔光力系统的 ………………………………