电子科大王曾晖/夏娟团队&中南周喻团队：大范围、高线性、快响应的纳米机电谐振式气压传感器

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★ 欢迎星标 果壳硬科技 ★ 近日，电子科技大学王曾晖教授、夏娟研究员团队与中南大学周喻教授团队合作报道了基于非层状二维材料β-In2S3的超高频谐振式纳米气压传感器，实现了宽量程（从10 -3 Torr直至大气压）、高线性（非线性程度仅为0.0071）和快响应（内禀响应时间低于1微秒）的优异传感性能。 研究人员还阐明了纳米机电谐振器的频率设计规律，并成功实验测定了材料弹性模量和器件内应力，为基于二维非层状材料的新型低维纳米器件的晶圆级设计与集成赋能。 该成果近日发表于InfoMat期刊，论文的通讯作者还包括电子科技大学朱健凯博士（中国微米纳米技术学会首届优秀博士论文奖获得者）。 二维非层状材料具有应用于纳米机电结构中的潜力，并因其独特的物理特性和表面活性，有望进一步实现性能优异的传感器件。然而，由于纳米机 ………………………………