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集成式电磁感应-微机械柔性超声传感器,用于管道污染物多参数检测

MEMS  · 公众号  ·  · 2024-08-28 00:00
    

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管道污染物检测在航空、海运、医药和其它关领域具有相当重要的意义。这种能力有利于预测设备的潜在故障,确定运行状况,并及时维护和预测使用寿命。然而,现有的方法大多是离线操作的,因为在线可检测的参数相对单一。这种限制极大地阻碍了实时现场检测和对设备状态的全面评估。 据麦姆斯咨询报道,针对上述问题,西安交通大学的科研团队近日提出了一种可实现多参数油液在线监测的集成式电磁感应-微机械柔性超声传感器。该方法在测量流速的同时能够区分铁磁性金属颗粒、非铁磁性金属颗粒、非金属颗粒和气泡。微机械加工可以显著减小传感器的尺寸,而柔性衬底使安装更加方便,增强聚焦声场,从而提高检测能力。这项研究成果以“An integrated micromachined flexible ultrasonic-inductive sensor for pipe contaminant multiparameter detection”为题发表在 ………………………………

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