研究前沿：微机电系统MEMS-关键器件材料 | Nature Electronics

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具有集成电子传感和驱动的有源微机电系统microelectromechanical systems (MEMS) ，可提供力、加速度和生物分析物的快速且灵敏测量。集成在微机电系统MEMS悬臂梁上的应变传感器，广泛用于将施加的力，转换为电信号，例如原子力显微镜和分子检测。 然而，例如硅或氮化硅的传统微机电系统MEMS材料，高杨氏模量限制了器件的厚度，并且因此限制了特定弹簧常数所能获得的挠曲deflection灵敏度。 近日，瑞士 洛桑联邦理工学院（École Polytechnique Fédérale de Lausanne，EPFL）Nahid Hosseini, Matthias Neuenschwander，Georg E. Fantner等，在Nature Electronics上发文，报道了具有低杨氏模量的聚合物材料，可集成到厚而软的聚合物-半导体-陶瓷微机电系统MEMS悬臂中。 还开发了一种多层制造方法，使得高温工艺，可用于压阻式半导体应变传感器的沉积和掺杂，而不会损伤聚合物层。这种 ………………………………