芯片制造实现“完全自动化”，还有多远？

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更先进的技术和更高的运营效率，是半导体行业一直在追求的两个目标。   如今，制程工艺迈入后摩尔时代，进展有限，而半导体制造业的工厂运营效率仍有极大的提高空间。尽管OHT（天车）等自动化技术已经广泛应用于晶圆厂，帮助其生产运营效率推向了新的高度，但由于OHT技术在灵活性等方面有着天然限制，较难实现更高层次的自动化、智能化。   在此背景下，以台积电、中芯国际为代表的晶圆代工龙头纷纷引进AMR（自主移动机器人），使其工厂自动化程度及运营效率更上一层楼。 随着AMR单体硬件性能的不断优化，机器人软硬件融合程度的不断提升，或有望帮助晶圆厂逐步迈入全自动化和智能化时代 。 AMR助力晶圆厂生产 图源 | 网络 # Vol.1/    起个大早 赶了晚集？ 移动机器人并非什么新鲜事。   1953年，美国Basrrett电子公司便开发成功了世 ………………………………