基于F-P微腔的低噪声光机械MEMS检波器，可用于石油和天然气勘探

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高精度检波器在石油和天然气勘探以及地震监测等陆地应用中发挥着至关重要的作用。光机械精密测量的发展为检波器提供了一种新的设计方法，与传统的检波器相比，它具有更高的灵敏度和更小的尺寸。 据麦姆斯咨询报道，近日，华中科技大学刘骅锋教授团队提出了一种基于平凹型（plano-concave）法布里-珀罗（F-P）微腔的光机械MEMS检波器，其灵敏度高达146 V/g。该F-P微腔包括一个传感元件上的可移动反射镜和一个固定半球形微镜，由绝缘体上硅（SOI）和单晶硅晶圆制造而成。实验结果表明，该光机械MEMS检波器在100~200 Hz频率范围内具有2.5 ng/√Hz的低本底噪声（位移本底噪声为6.2 fm/√Hz）、500 Hz（-3 dB）的宽带宽、±4 mg的测量范围。为了降低来自激光源和温度、空气波动等环境因素产生的共模噪声，研究人员采用了平衡检测方法。该方法显著 ………………………………