我国成功开发出高精度石英谐振MEMS加速度计

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日前，中国微米纳米技术学会组织召开“高精度石英谐振MEMS加速度计”项目科技成果评价会。该项目由中国工程院院士蒋庄德、西安交通大学教授赵玉龙团队完成。 专家组一致同意项目通过科技成果评价，并认为该项目为下一代惯性级加速度计的发展与应用奠定了基础。 此次会议专家组由中国工程院院士邹汝平，中国航天第九研究院第十六研究所研究员、副所长王建青，西北工业大学教授苑伟政，中国船舶集团有限公司第七〇五研究所研究员、总工程师史小锋，中航工业西安飞行自动控制研究所研究员、副总工程师杨卫民组成。 据悉，该项目突破了一体式、双对置、差动式石英谐振MEMS加速度计敏感结构等关键技术，成功开发出高精度石英谐振MEMS加速度计，为下一代惯性级加速度计的发展与应用奠定了基础。项目成果已为惯性导航系统、惯性测 ………………………………