徐州博康光刻胶技改项目备案

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来源：ACMI辐射固化展览会 9月14日，根据采招网信息，徐州博康信息化学品有限公司 年产1406吨光刻材料及152吨光刻胶技改项目 备案。 徐州博康信息化学品有限公司成立于2010年3月，是专注于 中高端光刻胶 及 相关原材料 研发制造的国家高新技术企业，研发中心位于上海松江临港科技园，中试基地位于上海金山，在江苏邳州、浙江东阳有两个生产基地。 徐州博康徐州市邳州生产基地占地200亩，于2021年上半年完成建设，已正式投产，可年产1100吨光刻材料及10000吨电子级溶剂。 徐州博康已成功开发ArF/KrF单体及光刻胶、I线光刻胶、封装光刻胶、电子束光刻胶等系列产品。具备干法ArF及湿法ArF光刻胶的技术能力，干法ArF可应用于90nm/65nm/55nm节点。湿法ArF可应用于40nm/28nm节点，在现有技术产品基础上积极开发14nm及以下工艺节点应用的更先进的湿法ArF光刻 ………………………………