入耳式应用的高性能压电MEMS扬声器

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MEMS扬声器正在成为一种非常有前途的音频解决方案，以满足现代音频设备日益增长的更小、更轻和更节能的需求。由于在低电压下可获得相对较大的驱动力，压电驱动原理代表了微型扬声器最有前景的实现方案。尽管在过去的几年中提出了大量的新结构，但仍然需要在设计层面和仿真层面进行大量研究工作，以获得具有良好音质的全频微型扬声器，并准确获取这些器件的线性和非线性响应。 据麦姆斯咨询报道，意大利米兰理工大学（Politecnico di Milano）的科研团队开发了一种入耳式应用的高性能压电MEMS扬声器。该扬声器基于其中心部件的活塞式运动，中心部件通过一组折叠弹簧连接到执行器。当驱动电压为30 V pp 时，该器件的声压级（SPL）从500 Hz开始大于107 dB，其体积小巧，尺寸为4.5 mm x 4.5 mm。在1kHz、94 dB SPL下，总谐波失真（THD）小于1%。因此， ………………………………