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台积电:2nm重大突破!1nm也没问题!

数字化转型服务平台  · 公众号  ·  · 2020-09-23 19:08
    

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一、台积电:第一家官宣2nm工艺,研发进度超前 据台湾经济日报报道,台积电2nm工艺取得重大突破,研发进度超前,业界看好其 2023年下半年风险试产良率就可以达到90%。 据台媒透露,有别于3nm与5nm采用鳍式场效晶体管(FinFET)架构,台积电2nm改采全新的多桥通道场效晶体管(MBCFET)架构,研发进度超前。 据悉,台积电去年成立了2nm专案研发团队,寻找可行路径进行开发。 考量成本、设备相容、技术成熟及效能表现等多项条件,2nm采以环绕闸极(GAA)制程为基础的MBCFET架构,解决FinFET因制程微缩产生电流控制漏电的物理极限问题。 极紫外光(EUV)微显影技术的提升,使台积电研发多年的纳米片(Nano Sheet)堆叠关键技术更为成熟,良率提升进度较预期顺利。 台积电 ………………………………

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