浙大集成电路学院牵头，浙江省集成电路智能制造协同创新中心获批

文章预览

近期，浙江省教育厅公布了第八批浙江省协同创新中心认定结果，“浙江省集成电路智能制造协同创新中心”成功获批。 据悉，浙江省集成电路智能制造协同创新中心由浙江大学集成电路学院牵头建设，联合浙江创芯集成电路有限公司等多家单位共同组建。 该创新中心主要围绕智能制造的关键技术问题与创新链条，以12英寸集成电路成套工艺公共研发与中试线为依托，进行集成电路工艺虚拟化、测试虚拟化、智能制造、设计制造协同四大智能化技术攻关。 重点探索人工智能技术在集成电路制造成套工艺中单点工艺开发、工艺设备工程、工艺整合优化、工艺过程管控与良率及可靠性优化提升等环节的应用基础研究。 主要围绕智能制造技术的实现与智能制造技术的应用来布局，掌握制造虚拟化、测试虚拟化核心技术与解决方案，建立基于虚拟制造的 ………………………………