想要做好刻蚀工艺需要评价哪些指标？

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文章来源： 芯云知 原文作者： Crane 在本篇文章中，我们主要介绍刻蚀工艺评价的工艺参数以及如何做好刻蚀工艺。 一、刻蚀工艺质量评价 1）刻蚀速率 刻蚀速率是指在蚀刻过程中被去除的材料的速率，通常以单位时间内的厚度减少量来表示，单位通常是纳米/秒（nm/s）或埃/秒（Å/s）。厚度可用膜厚仪、台阶仪或SEM等表征。 刻蚀速率=△d/t (Å/min) △d=去掉的材料厚度(Å或um) t=刻蚀所用的时间 (min) 2）刻蚀选择比 在刻蚀过程中，被刻蚀物质上层的抗蚀剂（如光刻胶）或下层的物质这些本来不需要被刻蚀的膜层会同时遭到刻蚀，那么在抗蚀剂和刻蚀材料间需要有一个定义，即刻蚀选择比。 刻蚀选择比=被刻蚀材料的速率/掩膜材料的速率 在微纳加工中，刻蚀选择比是一个重要的参数，它决定了在蚀刻过程中目标材料相对于掩模材料的去除速率。通常情 ………………………………