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国内首台!光伏电池制造关键设备取得新突破

中国电科  · 公众号  ·  · 2024-12-20 22:56
    

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▲  点击蓝字“ 中国电科 ”,关注CETC品牌微刊 电科装备下属红太阳光电公司 自主研制的国内首台叠舟等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备 ,近日成功发货。 叠舟PECVD设备 作为光伏电池制备的一大重要工序,常规PECVD镀膜设备的市场竞争日趋激烈,主流设备各方面性能大同小异,急需高产能、低成本、高稳定性、高工艺品质的新设备机型打破市场竞争格局。 红太阳光电基于15年的光伏装备领域经验,以自研PECVD镀膜设备为基础,对设备产能、成本、能耗、稳定性、工艺可靠性等深研一步,跳出传统的单管单层舟设计思路,推出新型大管径高产能叠舟PECVD镀膜设备。 据介绍,该设备打破市面常规设备反应室结构,创新采用双舟叠放设计,单管载片量大幅提升,反应室的空间利用率提升至50%。 来源/科技日报 校对/谢雅巍 在这里·悦读中国电科 推 ………………………………

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