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检测技术的应用非常广泛。建造洁净室用的器材需要检测；洁净室用的仪器设备需要检测；洁净室建成后的调试需要检测；洁净室竣工验收需要检测；洁净室运行过程中需要监督检测。可以说：检测工作贯穿洁净室筹备、建造、应用的全过程。 检测仪器是检测工作的工具，只有了解检测仪器的结构和原理，才能正确地使用仪器进行检测，才能得到正确的检测数据。否则，只知其然，不知其所以然，一用就错，错不知错。 洁净度的检测仪器 （1）“尘埃”一般不包括液体微粒。而此仪器测得的微粒数，是固体和液体 微粒数的总和。 （2）“粒子”一般是指结构固定的微小单元。例如：分子、原子、质子、中 子、电子、等。此仪器一般测定的是：分子的组合体“微粒”。 （3）“计数器”不仅计数，而且可以测定微粒的大小。原理是：光散射；检测对
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