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集微网·爱集微APP,各大主流应用商店均可下载 良率是芯片制造中的重要指标。如果说先进制程代表晶圆厂技术的领先性,那么产品良率就代表着其产品的可靠性和经济性。在制造成本固定的情况下,良率越高单颗芯片成本越低。晶圆设计制造的每一步都影响着芯片的良率,因此芯片良率提升的关键在于对制造过程进行完整有效地监控检测,同时结合制造过程中的数据进行分析,及时发现问题和潜在风险,并反馈至集成电路制造端和设计端,改进工艺和设计。 针对行业这一需求和痛点,东方晶源推出良率管理平台YieldBook,经过两年多的迭代升级,近期3.0版本上线。该版本充分发挥东方晶源在计算光刻软件OPC和电子束量测检测机台领域的兼备优势,成为业界率先实现对量测数据(MMS)、缺陷数据(DMS)、良率数据(YMS)全面一站式的良率管理软件,
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