之江实验室微纳加工平台：以完备工艺和专业服务支撑产业创新

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“加工、测试、修改设计、再次加工……”在之江实验室微纳加工平台（以下简称“微纳平台”），一批工程师在为提升产品稳定性进行着反复迭代。他们要向杭州一家企业交付一批电阻器件，企业对于器件的批次稳定性要求极高。 这是微纳平台承接的一项企业定制化委托加工业务。为突破国内科研单位及创新企业在芯片研发过程中面临的工艺加工能力与设计能力不匹配问题，微纳平台通过构建完备的工艺线和专业化服务团队，在支撑科研实验线器件功能或概念验证的同时，实现原型小试线完整器件试制与小批量生产。 “从清洗、长膜、光刻、刻蚀到封装和测试，从前道工艺到后道工艺，我们有着全套完整的工艺流程，用户所有的工序都可以在这里完成，不再需要分散去不同的地方进行加工。”微纳平台负责人、新型计算传感与智能处理研究平 ………………………………