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常用气柜(GC)、气架(GR)配套的Unility需求

洁净工程联盟  · 公众号  ·  · 2024-08-03 11:22
    

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     气柜(GC)、气架(GR)是一种为满足半导体、太阳能、光纤、芯片、LED 等行业生产时需要 各类特殊气体的专用设备。 SEMI-S4 对 气柜的定义: 一个金属密闭容器,目的在提供局部排气通风以保护气体钢瓶不会着火,防止气瓶柜之火源着火,及保护周围不因气瓶柜之火源而着火,并限制火源 于其内部。 因此,气柜通常必须具有柜体防护、强制抽风、安全防护以避免火焰蔓延甚至 将火源熄灭的功能。       气柜(GC)应用于: 易燃、易爆、自燃、腐 蚀、剧毒等危险性        施工过程中,除主管道施工对接至FAB区内的VMB以外,还需要给各GC配套相应Unility系统: 包含但不限于: GN2*2、PN2*2、Power、Vent、Exhuast; GN2系统需求: 1)气动阀用气动氮气,1/4卡套接口; 2)Z-purge氮气,做正压保护, 1/4 卡套接口 ; 3)文丘里氮气, 1/4 卡套接口 ; PN2 ………………………………

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