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中国光刻胶,离日本还有多大差距?

芯师爷  · 公众号  ·  · 2024-10-28 18:30
    

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作者:正解局 本文授权转载自:正解局(微信ID:zhengjieclub) 光刻胶,是芯片制造的关键材料。 为了打破国际垄断,中国企业全力攻关,进步确实很大。 但是,与日本,中国光刻胶仍然有很大的差距。 到底差在哪里? 中国企业又该如何突围? 光刻胶,顾名思义,就是光刻机在光刻过程中使用的聚合物薄膜材料,英文直译过来是光致抗蚀剂,能在紫外光、电子束、离子束、X射线等照射或辐射下,发生聚合或解聚反应,把图案留在硅片上。 光刻胶工作原理 我们平常说的光刻胶,其实是一类产品的统称。 按形成的图像来分,有正性和负性两大类。按曝光光源和辐射源的不同就分得更细了,可分为紫外光刻胶、深紫外光刻胶、X-射线胶、电子束胶、离子束胶等。 光刻完成后的晶圆片 每类都有前面说的正负性之分,品种规格很多,非常复杂,对应的 ………………………………

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