多晶硅生产过程中硅芯有什么用

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‍ 文章来源：晶格半导体 ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ 原文作者：晶格半导体 ‍ ‍ ‍ 多晶硅还原炉内，硅芯起着至关重要的作用。 在多晶硅的生长过程中，硅芯的表面会逐渐被新沉积的硅层所覆盖，形成多晶硅晶体， 它主要作为沉积硅材料的基础。 ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ ‍ 硅芯的表面是化学反应发生的场所，硅芯的表面特性（如清洁度、粗糙度）会影响沉积速率和硅材料的质量。 基底作用 硅芯作为沉积过程的基底，是硅材料沉积的起点。在化学气相沉积过程中，硅芯表面提供了硅原子沉积的场所。 导热作用 硅芯通常由高纯度的硅制成，具有良好的导热性能。在还原炉中，硅芯通过电阻加热，将电能转化为热能，为化学反应提供必要的高温环境。 结构支撑 硅芯的结构为沉积过程提供了 ………………………………