电子显微镜实验室原创技术方法介绍

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导语： 中国科学院地质与地球物理研究所公共技术中心前身是1999年成立的“中国科学院地质与地球物理研究所公共支撑系统”，在中国科学院的大力支持下，经过20多年的发展，我所公共技术中心已发展为我国地球与行星科学领域具有国际先进水平的综合性技术支撑服务平台。为进一步促进交流合作和大型仪器开放共享，科技平台处策划了原创技术方法专题，详细介绍各仪器平台研发的技术方法。 本期介绍电子显微镜实验室的原创技术方法。 01 嫦娥五号月壤样品 单颗粒分析工作流程图 步骤-1：显微制样后，用µXRF快速挑选目标颗粒，按需制样。 步骤-2：3D-XRM/FIB-SEM联合分析，获得三维形貌、结构和成分信息。 步骤-3：SEM综合分析，获得表面形貌、结构和化学成分信息。 步骤-4：综合微区分析，获得形貌、结构、矿物相、化学成分等信息。 步骤-5 ………………………………