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突破金刚石膜大规模生产瓶颈:港大团队用“一步法”剥离晶圆级金刚石膜,生产成本比传统工艺降低1000倍

DeepTech深科技  · 公众号  · 科技媒体  · 2025-01-14 15:05
    

主要观点总结

香港大学褚智勤副教授团队在Nature上发表研究成果,成功制备出大面积、平整、表面粗糙度达到1纳米以下的晶圆尺度多晶金刚石薄膜。该研究采用了一种全新的剥离技术,实现了金刚石的超薄超柔特性,并展示了其在电子、光学等领域的应用潜力。该团队计划成立初创公司推进技术产业化,并致力于利用金刚石制造半导体器件。

关键观点总结

关键观点1: 成功制备晶圆尺度多晶金刚石薄膜

研究团队首次在晶圆尺度(2英寸)上制备出大面积且平整的多晶金刚石薄膜,此前领域最大的尺寸仅能达到厘米级。

关键观点2: 实现金刚石的超薄超柔特性

基于尺寸效应,当金刚石薄膜变薄到一定程度时,会变得像塑料纸一样柔软,可360°弯曲,这与金刚石“最坚硬”物质的特性形成鲜明对比。

关键观点3: 剥离技术的创新与优势

研究团队采用边缘暴露剥离技术,实现了超薄金刚石膜的制备和转移,完全摒弃了传统方法中复杂的抛光和刻蚀过程,采用了一种完全物理的、可简单制备的“一步法”,直接从生长衬底上剥离金刚石。

关键观点4: 生产成本大幅降低

新方法使生产成本比传统方法降低了1000倍,且生产效率高,有望在自动化生产线上实现秒级处理多张金刚石膜。

关键观点5: 广泛的应用前景

金刚石薄膜在电子器件散热、光学应用、声学、紫外光探测等领域具有重要的应用场景,研究团队计划成立初创公司推动技术发展和产业化应用。


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