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呼出二氧化碳（CO₂）浓度可以直接反映人体的生理状况，其检测对危重患者的治疗与康复具有重要意义。然而，现有的呼吸气体分析仪由于内部CO₂气体传感器的限制，存在体积庞大和功耗高等问题，难以实现对活动人群的可穿戴追踪。为实现CO₂气体传感器的可穿戴呼吸监测应用，亟需克服内部和外部干扰以及灵敏度限制。 据麦姆斯咨询报道，近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所李铁研究员的科研团队开发出一种将微机电系统（MEMS）发射器和热电堆探测器与光学气室集成的超小型CO₂气体传感器（如图1）。该传感器通过热传导控制，降低了光源功耗和热敏器件的环境温度；缩短了传感器稳定所需时间。此外，双通道设计提高了该传感器的抗湿性；通过提高光耦合效率来补偿光损失，并结合幅度微调网络（Amplitude Trimming Network）等效提
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