EDS或AES检测分析

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EM（扫描电子显微镜）-EDS（X射线能谱仪）是目前最主要的成分分析手段之一，之前我们讲过其原理、技术进步、应用项目和行业，现在来讲讲SEM和EDS在各测试项目中是如何应用的，拿到SEM和EDS结果后如何分析？ 首先关于SEM，它的 用途 主要有两个： 一是利用其放大功能观察微小样品表面形貌及元素分布 （注：只能观察到样品最表面形貌；图像为黑白像；若需观察材料截面情况，需要先制样） ； 二是作为电子探针与EDS或AES（俄歇电子能谱）相结合，分析微区内的元素组成。 一. 观察表面形貌分析和元素分布 1. SEM分析成像模式 1）表面形貌： SEM（ Scanning electron microscope ）成像模式，利用次级电子来观察样品的表面形貌和特征。SE图像能够提供非常丰富的图像细节与信息，如材料表面形貌（如裂纹、孔洞、腐蚀、形变等信息）、微观峰谷结构、颗粒 ………………………………