华南理工殷盼超教授 Angew：聚合物亚纳米粒子超分子复合膜用于高精度纳米压印

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点击上方 “ 蓝字 ” 一键订阅 纳米压印 （NIL） 是一种低成本高通量的微纳表面制造技术，受到广泛的关注和应用，尤其是在制备超表面、波导材料、集成电路等领域。与传统的光刻技术相比，NIL具有成本更低，分辨率和生产效率更高等优势。热压印是NIL一种典型的工艺，通常先将基材表面的聚合物薄膜升高到玻璃化转变温度（T g ）之上，再将具有微纳结构的模具（母版）以较高的压力平行压印到聚合物表面，使得软化或者流动的聚合物填充于微纳结构的缝隙内部，降温后聚合物固化定型，揭下母版后聚合物膜表面就会保持和母版纳米形貌互补的图案。然而热压印技术通常要求较高的温度和压印压力，工艺参数苛刻，不仅限制了压印胶和母版材料的类型，也容易降低母版的使用寿命。相比之下，紫外固化压印在一定程度上克服了热压印的缺点， ………………………………