基于肋状结构和单晶PZT薄膜的压电式MEMS麦克风

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MEMS麦克风在消费电子和医疗应用等领域备受关注。此外，在高声压级（SPL）应用中，MEMS麦克风也展现出巨大的潜力，例如用于飞机噪声评估和发动机状态监测。根据工作原理，MEMS麦克风可分为电容式、压阻式、压电式，与电容式和压阻式换能原理相比，压电材料的自生电荷机制使其具有更高的能效优势，成为高性能、低功耗MEMS麦克风应用的理想选择。 据麦姆斯咨询报道，近期，北京大学卢奕鹏研究员团队提出一种基于高质量单晶PZT薄膜的压电式MEMS麦克风。通过在压电薄膜中引入肋状结构，制备出的MEMS麦克风在减轻质量的同时保持了刚度和灵敏度，并实现了中心频率的调谐。相关研究成果以“Piezoelectric MEMS microphones based on rib structures and single crystal PZT thin film”为题发表在 Microsystems & Nanoengineering 期刊上。 在这项研究工作中，研究团队提出一种 ………………………………