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刘忠范、高鹏、李晋闽、魏宇杰合作J. Am. Chem. Soc.工作:石墨烯\/蓝宝石基底上无应力AlN的快速生长

材料人  · 公众号  ·  · 2018-10-21 09:00

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【引言】 第三代半导体材料(AlN、GaN等)在发光二极管、激光二极管、紫外辐射源、高频功率电子学等领域具有广阔的应用前景。制备第三代半导体材料的常用方法是金属有机化学气相沉积(MOCVD)法,蓝宝石、硅、碳化硅等常被用作生长基底。但是,在材料外延过程中,基底与第三代半导体之间存在较大的晶格失配和热失配,这会导致材料中应力的积累以及缺陷密度的升高。除此之外,在材料岛状拼接生长过程中,在拼接界面处常常会出现大量的缺陷结构。上述两个过程所产生的缺陷结构会严重降低材料的质量,进而会影响器件的发光效率。 石墨烯具有诸多优异的物理化学性质,例如:超高的热导率、负膨胀系数及表面无悬挂键,等等。因此,石墨烯缓冲层在第三 ………………………………

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