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紧凑型高灵敏的中红外光热电探测器

MEMS  · 公众号  ·  · 2024-10-15 00:00
    

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高性能中红外光电探测器对于光谱学和成像应用来说是非常重要的。然而,对电子带隙跃迁的固有依赖对可以探测的光子能量设置了基本限制,然而,随着带隙的减小,来自热激发载流子的噪声增加。为了降低热噪声,需要制冷系统,这大大增加了探测器的成本和尺寸,从而限制了中红外技术的可及性。 光热电(PTE)探测器是光电二极管的替代技术,支持宽带光谱响应和室温操作。这些器件基于光热电效应工作,因此任何光吸收机制都可以独立于材料带隙使用。目前热门的光学腔结构,通过共振增强吸收并改善光热电探测器的性能。尽管共振增强型光热电器件有诸多优势,但始终存在共同的问题——复杂的器件结构、额外的材料以及复杂的制造工艺。另一方面,光热电器件凭借其可靠性、独立于外部电源以及非制冷等特性而独具吸引力。然而,与 ………………………………

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