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洁净室是污染控制的基础,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。 洁净室要获得良好的洁净效果,不仅要着重 采取合理的空调净化措施 ,而且也要求工艺、建筑及其他专业采取相应的措施: 不但要有合理的设计,而且还要精心的符合规范的施工安装,以及 正确的使用洁净室和科学的维护管理 。为使洁净室获得良好的效果,国内外已有不少文献从不同的角度作过阐述。实际上,不同专业之间很难做到理想地配合,而且设计者很难把握施工安装质量以及使用和管理情况,尤其后者。就洁净室净化措施而言,许多设计者,或者还有施工方,往往对其必要条件未予足够重视
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