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据麦姆斯咨询报道，2024年10月18日至20日， 西北工业大学教授乔大勇 将参加 《第66期“见微知著”培训课程：MEMS制造工艺》 并进行授课，具体信息如下： 授课主题： 基于SOI硅片的MEMS工艺 授课老师简介： 乔大勇，博士，长江学者特聘教授，西北工业大学教授、博士生导师。他是微机电系统（MEMS）领域资深专家，先后主持包括国家自然科学基金重点项目和国家重点研发计划在内的科研项目14项，主要研究方向为微光机电系统（MOEMS）和微/纳制造工艺。他出版《微机电系统》国家级规划教材一部，出版国家学术著作出版基金资助专著《微机电系统（MEMS）制造技术》一部。 授课背景及内容： 绝缘体上硅（SOI）是在两层硅中间引入一层氧化层，形成一种“硅-二氧化硅-硅”三明治结构的硅片，其中，顶层硅称为器件层（device layer，单晶），底层硅称为
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