基于图像分析的 CD-SEM 显微视觉清晰度检测技术研究

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基于图像分析的 CD-SEM 显微视觉清晰度检测技术研究姜国伟, 田宝，章屠灵 摘要：在集成电路制造业，对 CD-SEM 显微图像进行精确地清晰度检测是对关键层图案的特征尺寸 CD（Critical Dimension）量测的基础。通过与目前常用的、具有代表性的多种清晰度评价方法进行实验验证分析和对比，提出一种基于小波变换和规则集合相结合的 CD-SEM 图像清晰度检测算法，首先利用小波变换分层提取图像的边缘特征，然后按照规则集合对边缘点进行不同边缘类型划分，最后计算图像模糊前后不同类型边缘点占总边缘点的比例来评价原始图像的清晰度。经过实验模拟验证和现场生产实践检验，该算法具有较高的计算精度和较强的鲁棒性、实时性和场景适应性。关键词：CD-SEM 显微图像；图 ………………………………