主要观点总结
武汉大学副研究员刘文娟将参加第63期“见微知著”培训课程，并授课关于压电MEMS声学传感器的内容。
关键观点总结
关键观点1: 授课老师介绍
刘文娟博士，武汉大学工业科学研究院副研究员，研究方向主要为压电MEMS器件及应用。
关键观点2: 授课主题
压电MEMS声学传感器，涵盖压电薄膜材料生长到压电器件设计与制造等多个方面。
关键观点3: 授课背景及内容
介绍压电MEMS技术在声学传感领域的快速发展，以及压电MEMS声学传感器的典型应用和优势。课程将全面剖析麦克风和超声换能器两大类压电MEMS声学传感器核心技术，并对压电MEMS声学传感器应用及发展进行展望。
关键观点4: 课程提纲
包括压电MEMS声学传感器概述、压电薄膜材料及制造平台、压电MEMS超声换能器设计与制造、压电MEMS麦克风设计与制造、以及压电MEMS声学传感器系统展望。
文章预览
据麦姆斯咨询报道，2024年7月26日至28日， 武汉大学副研究员刘文娟 将参加 《第63期“见微知著”培训课程：声学MEMS与传感器》 并进行授课，具体信息如下： 授课主题： 压电MEMS声学传感器 授课老师简介： 刘文娟，博士，武汉大学工业科学研究院副研究员，博士毕业于复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室。她曾先后在新加坡南洋理工大学、新加坡微电子研究院及法国国家科研中心电子微纳米技术研究所学习，研究方向为压电MEMS器件及应用，主要从事压电MEMS声学传感器设计与制备及氮化铝/掺钪氮化铝薄膜生长等研究。在 IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control 、 IEEE Sensors Journal 、 IEEE IUS 等著名国际期刊及高水平国际会议上发表论文20余篇，申请中国发明专利40余项，已授权8项，并授权美国专利1项，主持省部级科研项目3项
………………………………
