菲利华实现小批量生产超低膨胀石英玻璃

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10月29日，湖北政务服务网公布 湖北菲利华石英玻璃股份有限公司超低膨胀石英玻璃研发及生产项目 备案申报。 湖北菲利华石英玻璃股份有限公司超低膨胀石英玻璃研发及生产项目位于湖北省荆州经济技术开发区。据备案信息显示，该项目利用现有厂房和设备，对炉膛结构、升降设备控制系统、尾气系统等进行智能化升级改造；新增气柜、料柜、蒸发器、纯化设备及相关检测装置， 面向极紫外（EUV）光刻机对石英玻璃材料的需求进行超低膨胀石英玻璃的研制，建设1条中试 生 产线 。 据中国粉体网了解，相较于其他低膨胀石英玻璃，SiO 2 -TiO 2 石英玻璃的热膨胀系数更低，在一定温度范围内甚至可以做到零膨胀或负膨胀，因此掺钛石英玻璃又被称为 超低膨胀石英玻璃 。低膨胀石英玻璃的制备方法主要有化学气相沉淀法、间接合成法和溶胶-凝胶法 ………………………………