基于模型的设计 | 构建磁悬浮原型以实现超精密加工

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| 作者 Per Schreiber，汉诺威莱布尼茨大学生产工程和机床研究所 (IFW) ◆     ◆     ◆    ◆ 超精密加工广泛应用于医疗设备、光学、计量和微电子机械系统等领域，在其中发挥着重要作用。用于以亚微米精度移动机器部件和工件的导轨技术对加工过程的整体准确度和速度具有重大影响。最常用的两种导轨技术 - 静液压驱动和空气静压驱动 - 可提供平稳的运动和抑制振动的阻尼。然而，实现和维护这些导轨可能既昂贵又复杂，尤其是对于需要多个自由度的应用更是如此。 在汉诺威莱布尼茨大学生产工程和机床研究所，我和同事们实现了一种基于磁悬浮的超精密加工新导轨技术。这种方法既能克服现有导轨技术的一些缺点，又能保持极高的精度。电磁悬浮导轨支持额外的自由度和主动减振，可以提高生产速度，从而使超精密加工工作效率的显著提高 ………………………………