日本半导体材料厂　扩大EUV技术设备投资

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AI热潮与自动驾驶使半导体元件在运算速度、资料容量、整合程度等方面有提升的需求，在芯片电路精细化的过程中，绕不开极紫外光（EUV）制程技术。日本半导体材料厂因而针对EUV技术，正在扩大设备投资。 日本电波新闻（ Dempa）、日经新闻（Nikkei）等报导，多家日本半导体材料厂正在扩产EUV相关材料，例如东京应化（TOK）正在福岛县郡山工厂兴建光阻剂新厂，不但是该公司最大光阻剂生产厂房，质量与生产效率皆为全球最高水平。 东京应化新厂预计 2024年度下半（2024/10~2025/3）动工，2026年度下半完工，提升KrF光阻剂与EUV光阻剂的产能及质量。 信越化学（ Shin-Etsu）决定在日本群马县伊势崎市兴建光阻剂的第4间工厂，预计第一期工程2026年完工，工程与土地取得共投资830亿日圆。 信越化学的光阻剂包含 KrF、ArF、EUV等制程使用。新工厂除了承担对 ………………………………