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浅谈康森斯克MFC900系列气体质量流量控制器

康森斯克MEMS  · 公众号  ·  · 2025-02-11 14:10
    

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点击蓝字 关注我们 质量流量控制器(MFC)是一种用于精确测量和控制气体或液体质量流量的设备。它通常由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器管道、机壳、调节阀等部件组成。质量流量控制器主要用于对气体或液体的质量流量进行精密测量和控制,具有高精度和良好的重复性。质量流量控制器的工作原理是基于热传导原理或者差压原理,通过测量气体或液体的流量来控制其质量流量。在控制过程中,质量流量控制器通过调节阀来调节流量,使其达到设定的质量流量。 (上图为康森斯克设计生产的MFC900系列气体质量流量控制器) 质量流量控制器的应用 1. 半导体制造:    在半导体生产中,MFC用于精确控制工艺气体流量,确保薄膜沉积和蚀刻等工艺的稳定性。 2. 化工行业:    在化学反应中,MFC用于控制反应物料的流量,保证反应条件 ………………………………

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