微电子所刘明院士/李蒙蒙研究员团队: 超低电压单分子层聚合物晶体管

文章预览

研究背景 聚合物半导体因其独特的优势而受到广泛关注，如机械灵活性、低温加工性、可调光电性能、轻质性和大规模生产的潜力。聚合物薄膜晶体管 (TFT) 是塑料电子产品中最重要的组成部分之一，在物联网和人工智能等新兴领域具有巨大的潜力。 迄今为止，人们在半导体聚合物的化学设计方面投入了大量精力，使其场效应迁移率取得了巨大进展。尽管如此，在实际应用中其他性能参数同等重要。晶体管有效工作的电压范围是功耗的一个重要考虑因素，但聚合物 TFT 通常使用 20V 至 100V 的高工作电压。较薄的电介质有利于降低工作电压，但隧穿效应通常会导致较高的栅极泄漏电流。 文章简介 近日，中科院微电子所 刘明院士 / 李蒙蒙研究员 团队提出了一种与传统光刻技术兼容的图案化策略，并利用 AlO x  作为栅极电介质，制造了工作电压仅为 3V ………………………………