中国晶圆的静电卡盘行业市场前景：海外厂商垄断局面将被打破，行业迎来大规模发展契机[图]

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概述 静电卡盘又称静电吸盘（简称ESC）是以库伦定律、洛伦兹定律、J-R效应、电势梯度等为原理依据的新型吸附技术。根据被吸附对象材质的特性采用一种或者多种吸附方式，从而实现对物体有效地吸附。晶圆的静电卡盘是一种利用静电吸附原理将晶圆牢固地吸附在其表面的设备。它可以在晶圆加工过程中为晶圆提供稳定可靠的支撑，同时可以通过背吹气体来控制晶圆的温度。静电卡盘主要由陶瓷基板、静电电极、机械顶针、外设电源、背吹系统和冷却基体等部分组成。 行业政策 晶圆的静电卡盘的最终应用领域主要为集成电路制造，因此，集成电路行业的发展对行业起着至关重要的左右。近些年来，为了促进集成电路行业的发展，我国陆续发布了许多政策，如2021年中共中央国务院发布的《知识产权强国建设纲要（2021－2035年）》健全专门保护与 ………………………………