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中国科学院深海科学与工程研究所杨阳研究员团队联合深圳大学、日本奈良先端科学技术大学院大学在Applied Physics
Reviews期刊上发表了综述文章，系统地讨论了基于微机电系统（MEMS）技术的海洋物理传感器，包括其原理、材料设计以及各种应用场景。 海洋传感器在海洋探索和资源利用中起着关键作用。目前，传统的海洋传感器由于其制造技术的局限，存在尺寸大、能耗高、集成复杂等问题，难以满足在恶劣海洋环境中长期观测的需求。利用MEMS技术让众多海洋传感器得到了显著改进，使其具备更低的功耗、更轻的重量、更高的集成度，以及高灵活性和可拉伸性等特性。本文重点介绍了基于MEMS技术的海洋物理传感器以及各类传感器的工作原理、结构特性和制造工艺；这些传感器能够用于测量或监测包括海水导电率、温度、压力、大尺度洋流、小尺度
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