综述：MEMS集成设计与制造技术进展

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芯片技术已成为制约我国高质量发展的瓶颈，基于微机电系统（MEMS）技术的高性能微传感器芯片更是备受欧美“卡脖子”的核心器件之一。“工欲善其事，必先利其器”，与微电子芯片类似，设计及制造技术也是制约MEMS芯片性能的关键。 据麦姆斯咨询报道，针对MEMS设计与制造技术发展情况，西北工业大学苑伟政教授、常洪龙教授、谢建兵教授联合在《机械工程学报》期刊上发表了题为“MEMS集成设计与制造技术进展”的综述文章，系统介绍了MEMS设计与制造工具化和标准化相关技术，以期为我国MEMS批量化制造发展提供参考。 MEMS是在微纳米尺度设计与制造的芯片产品，既有微电子芯片的精细，又有微机械多域耦合下的运动与控制，贯穿设计、加工、封装、测试等多个技术环节，涉及广、跨度大、难度高。其制造既不同于传统机械制造模式的微小型 ………………………………