芯片制造的核心设备之一：真空泵（含其主要厂家）

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一、什么是真空泵 真空泵，是指利用机械、物理或化学方法，在某一封闭空间中改善、产生和维持真空环境的装置，是真空设备的核心零组件。 按照真空度和气压范围来划分 ，真空泵可分为低真空、中真空、高真空及超高真空四类，应用于不同的真空要求环境。 按照工作原理来划分，真空泵可分为 气体传输泵和气体捕集泵 两大类。 气体传输泵是指，能使气体不断的吸入和排出，从而达到抽气目的的一种真空泵，主要包括变容真空泵和动量真空泵两类：1）变容真空泵的工作原理是泵腔充满气体，其入口被周期性的隔离，然后将气体输送到出口，气体在排出前一般被压缩；2）动量真空泵的工作原理是将动量传递给气体分子，使气体由入口不断地输送到出口。气体捕集泵是指气体分子被吸附或冷凝而保留在泵内表面上的一种真空泵，主要包括吸附 ………………………………