电科装备45所：湿法设备进入国内主流8英寸芯片产线

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近日，电科装备45所自主研制的双8英寸全线自动化湿法整线设备进入国内主流FAB厂。该整线设备满足8英寸90nm-130nm工艺节点，适用于8-12英寸BCD芯片工艺中的湿化学制程。 晶圆尺寸与工艺线宽代表湿法设备的工艺水准，45所自主研制的整线设备具备了8寸主流FAB厂湿法设备运行标准，自动化程度高，系统集成度高，覆盖了8英寸BCD芯片工艺中的湿化学工艺制程，实现了全自动湿法去胶、湿法腐蚀、湿法金属刻蚀、RCA清洗、Marangoni干燥等工艺。 45所深研国内主流FAB厂现行湿法设备SEMI标准，跟踪先进高端工艺，持续攻克Cassette-less高洁净清洗、精准湿法微腐蚀、Megasonic无损伤清洗等核心技术，同时配套集成EFEM、ACB、CTC、WTR、LFR等标准模块，为实现湿法设备在主流工艺线的无缝对接，提高湿法设备的工艺处理能力和品牌影响力夯实根基。 45所是国内 ………………………………