半导体行业（一百一十）——晶圆加工中的商务因素（十）

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晶圆传送自动化 自动化的第三个水平是晶圆可以被自动地发送到设备上，并自动上载或下载。除了生产上的优势，自动化还带来了人类环境改造学的、安全和成本方面的好处。这些好处在晶圆尺寸增大，而使片匣质量达到18-20磅（6．7-7.5kg）时凸显出来。操作员有可能受伤，而摔坏一盒昂贵的晶圆造成的经济损失可能是非常惊人的。早期的传送系统采用机动的部件来模拟人的传送（参见下图）。称为“自动引导小车”（automated guided vehicle，AGV），部件沿一个轨道移动，并将晶圆片匣发送到需要晶圆的机器上。另一种形式是“轨道引导小车”（RGV），部件沿着处于工艺设备和储备间之间的轨道移动。这两种形式的优点是，在设备排列成行的生产线很容易做改装。   另一 ………………………………