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MPW流片 上海工研院(SITRI)
联合中国科学院上海微系统所、中国科学院半导体研究所、上海交通大学等国内硅基光电子领域知名研究机构，建立硅基光电子器件工艺平台，拥有近5000平米洁净室，具备90nm高精度光刻、晶体外延、介质薄膜生长、干法及湿法刻蚀、掺杂、金属互连和在线工艺检测等成套关键工艺能力，可以通过MPW、定制化流片、联合研发等多种方式为各类高校、科研院所和企业提供服务，满足客户研发、中试、封装等多样化需求。 经过多年沉淀积累，上海工研院硅光平台的服务能力持续稳定提升，日趋成熟，获得了行业的高度认可。2023年，90纳米硅基光电子技术入选《2023年上海市科技进步报告》，并在2024年入选中国光学工程学会“硅基光电子三年优秀成果展”。随着强烈的市场需求，为确保每一位合作伙伴都能及时把握住研发创新的
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