科普 | 半导体器件为什么需要“外延层”

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看到一些新闻，表示某国高科技企业开发了一种新型衬底材料，与GaN晶格匹配，可以良好生长GaN。 (备注： GaN体单晶制备难度非常大，因此此处所提的GaN是外延层，此处暴露了外延层存在的意义之一)。 那为什么要有衬底及外延层之分呢？ 外延层的存在有何意义？ 接下来通过本文一起来探索一下~~ 外延Epitaxy这个词来源于希腊字epi，意思是"…之上" 所以常见的GaN on Si的表达也就很容易理解了。 外延片的名字来源 首先，先普及一个小概念：晶圆制备包括衬底制备和外延工艺两大环节。衬底（substrate）是由半导体单晶材料制造而成的晶圆片，衬底可以直接进入晶圆制造环节生产半导体器件，也可以进行外延工艺加工生产外延片。外延（epitaxy）是指在经过切、磨、抛等仔 ………………………………