中建材总院：半导体装备用精密碳化硅陶瓷部件及制造技术

文章预览

演讲题目 01 半导体装备用精密碳化硅陶瓷部件 及制造技术 报告内容简介 02 介绍半导体装备用碳化硅精密部件碳化硅典型应用、精密碳化硅陶瓷部件特点以及典型部件制备技术。 报告嘉宾简介 03 工学博士、教授级高工、博士生导师，长期从事特种陶瓷与陶瓷基复合材料的工艺、组成、结构与性能研究。 报告人单位简介 04 咸阳陶瓷研究设计院有限公司，隶属中国建筑材料科学研究总院，公司成立于1970年，公司集科研开发、设计制造、经营及行业服务为一体，是一家专业从事特种陶瓷和建筑卫生陶瓷的科研院所。核心技术及产品有先进陶瓷材料系列产品、高性能隔热材料产品、陶瓷基复合材料制备等成果和技术，玻化粒料陶瓷保温装饰一体板技术及生产技术、利用大宗固废制备绿色建材技术、新能源电池材料系列煅烧生产设备、建筑卫生陶瓷干（ ………………………………