【微纳加工】硅片上的隐秘坐标——解码8寸/12寸晶圆的Wafer Notch密码

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wafer notch这个看似简单的V形或U形缺口，实则承载着硅片的"基因密码"，是贯穿整个制造流程的定位锚点。 希望常见面的话，点击上方即刻关注，设为星标！ 一、硅片上的方向指南针 单晶硅具有各向异性，不同晶面（如 < 100>、 < 111>）的物理化学性质差异显著。Notch方向与特定晶向平行（允许±2°偏差），就像给硅片贴上方向标签。在湿法刻蚀时，碱液对 < 100>晶面的腐蚀速率是 < 111>的400倍，工程师通过这个标记精准控制各向异性腐蚀工艺。 在光刻机、刻蚀机等设备中，notch是晶圆自动对准的基准点。某先进封装厂的数据显示，notch定位精度每提升1μm，可带来0.3%的良率提升。在300mm晶圆上，0.1mm的对准误差可能导致整批芯片报废。 二、两类Notch制造的主流工艺 一种是激光切割，采用飞秒激光与硅发生多光子吸收效应，通过激光与材料相互作用产生等 ………………………………